| 序號 | 代碼 | 股票名稱 | 說明 |
| 1 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD 系列產(chǎn)品、ALD 系列產(chǎn)品、SACVD 系列產(chǎn)品、HDPCVD 系列產(chǎn)品、Flowable CVD 系列產(chǎn)品和三維集成領(lǐng)域系列產(chǎn)品 |
| 2 | SH688082 | 盛美上海 | 清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、后道先進(jìn)封裝工藝設(shè)備、硅材料襯底制造工藝設(shè)備 |
| 3 | SH688726 | 拉普拉斯 | 硼擴(kuò)散、磷擴(kuò)散、氧化及退火設(shè)備、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備、原子層邊緣鈍化沉積（EPD）設(shè)備、電池間隙貼膜機(jī)、激光設(shè)備 |