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代碼
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說明
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SH688726
拉普拉斯
硼擴散、磷擴散、氧化及退火設備、低壓化學氣相沉積（LPCVD）設備、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備、原子層邊緣鈍化沉積（
EPD
）設備、電池間隙貼膜機、激光設備
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